【真空泵維修配件】真空泵機(jī)組的工作原理是什么？

時(shí)間：2021-05-30作者：上海福豫機(jī)械設(shè)備有限公司瀏覽：345

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• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 【旋片式真空泵廠家】羅茨泵的工作原理

  羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱(chēng)之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)

• 【真空泵廠家】 真空泵的日常維護(hù)

  日常維護(hù)1、定期做保養(yǎng)時(shí)，將散熱油管及其它油路管拆卸下來(lái)進(jìn)行清洗和疏通。2、當(dāng)真空泵積碳嚴(yán)重時(shí)，必須進(jìn)行大的維護(hù)保養(yǎng)工作，必要時(shí)需更換油路管。因?yàn)椋?dāng)真空泵積碳后，不知道油管內(nèi)壁會(huì)有多厚的積碳。3、定期檢查油管是否漏油、穿孔等情況。如有發(fā)生，及時(shí)處理。4、散熱油管外表有一層散熱鰭片，該功能在風(fēng)冷的情況下能較好的降低真空泵溫度，達(dá)到較穩(wěn)定的真空度。故而在搬運(yùn)、使用時(shí)小心對(duì)待。5、由于該產(chǎn)品采用鋁質(zhì)材

• 真空泵機(jī)組維修

  真空泵的正確使用與保養(yǎng)要點(diǎn)1、經(jīng)常檢查油位位置，不符合規(guī)定時(shí)須調(diào)整使之符合要求。以真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，油位到油標(biāo)中心為準(zhǔn)。2、經(jīng)常檢查油質(zhì)情況，發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時(shí)換新油，確保真空泵工作正常。3、換油期限按實(shí)際使用條件和能否滿(mǎn)足性能要求等情況考慮，由用戶(hù)酌情決定。一般新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時(shí)，建議在工作100小時(shí)左右換真空泵油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后，以后可適當(dāng)延長(zhǎng)換油期限。4、一般情況下，真

• 【真空泵廠家】真空泵的操作

  真空泵的操作1、開(kāi)機(jī)前的檢查檢查油位是否在MAX-MIN之間，潤(rùn)滑油不可太多，亦或太少，不足時(shí)應(yīng)補(bǔ)充。禁止混用不同牌號(hào)的潤(rùn)滑油，補(bǔ)充潤(rùn)滑油時(shí)，應(yīng)確定系統(tǒng)內(nèi)已經(jīng)沒(méi)有壓力時(shí)，方可打開(kāi)加油塞。接上電源線及接地線，測(cè)試電壓是否準(zhǔn)確，電源是否無(wú)誤。?2、試車(chē)、開(kāi)機(jī)與停機(jī)試車(chē)1.關(guān)閉進(jìn)氣口。2.點(diǎn)動(dòng)電機(jī)檢查真空泵的旋轉(zhuǎn)方向，如旋轉(zhuǎn)方向不對(duì)，則對(duì)調(diào)三相電源中的任意兩相。開(kāi)機(jī)1.打開(kāi)進(jìn)氣口。2.合上電源