等離子清洗機(jī)在OLED顯示器件的應(yīng)用

時(shí)間：2022-03-31作者：煙臺(tái)金鷹科技有限公司瀏覽：341

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• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 等離子清洗機(jī)，晶圓加工前的后端封裝工藝

  硅片去除光刻膠，一般都是采用等離子處理機(jī)的干洗清洗方式，以解決光刻膠問(wèn)題。半導(dǎo)體等離子清洗機(jī)是晶圓加工前的后端封裝工藝，是晶圓扇出、晶圓級(jí)封裝、3D封裝、倒裝片和傳統(tǒng)封裝的理想選擇。圓晶封裝前采用等離子體清洗機(jī)處理的目的是去除表面層中的無(wú)機(jī)物，減少氧化層，增加銅表面層的粗糙度，提高產(chǎn)品的可靠性。半導(dǎo)體等離子清洗設(shè)備支持直徑75mm至300mm的圓形或方形晶片、基片的自動(dòng)處理。另外，可以根據(jù)晶片的厚

• 等離子清洗機(jī)，光刻膠剝離

  等離子清洗機(jī)用于清洗晶元（Wafer），去除表面光刻膠。具有高度的均勻性，穩(wěn)定的刻蝕速率。等離子體清洗機(jī)在處理晶圓表面光刻膠時(shí)，等離子表面清洗能夠去除表面光刻膠和其余有機(jī)物，也可以通過(guò)等離子活化和粗化作用，對(duì)晶圓表面進(jìn)行處理，能有效提高其表面浸潤(rùn)性。相比于傳統(tǒng)的濕式化學(xué)方法，等離子體清洗機(jī)干式處理的可控性強(qiáng)，一致性好，并且對(duì)基體沒(méi)有損害。等離子清洗機(jī)有幾種稱(chēng)謂，英文叫（Plasma Cleaner

• 等離子清洗機(jī)增強(qiáng)材料的生物相容性

  等離子清洗機(jī)增強(qiáng)材料的生物相容性，等離子清洗設(shè)備可以改善生物相容性，改善表面性能，產(chǎn)生化學(xué)活性官能組，并提高生物醫(yī)學(xué)涂層的附著力。等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱(chēng)為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場(chǎng)合，通過(guò)

• 等離子清洗機(jī)去除孔壁殘留膠

  等離子清洗設(shè)備能有效地清除孔壁殘留膠，達(dá)到清潔、活化、均勻蝕刻的效果。有利于內(nèi)線與孔壁鍍銅層的連接，提高粘結(jié)力。等離子清洗機(jī)通過(guò)對(duì)材料表面進(jìn)行改性，可以改善表面親水性，去除表面有機(jī)物，從而對(duì)多種材料進(jìn)行適配、涂膜、鍍層等操作。等離子清洗機(jī)有著廣泛的社會(huì)應(yīng)用需求，從表面微加工到表面處理的改進(jìn)。等離子清洗機(jī)有幾種稱(chēng)謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱(chēng)等離子體清洗機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀