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詞條說明
大氣常壓等離子表面處理機 常壓等離子表面處理機設(shè)備由等離子發(fā)生器、氣源輸入及等離子處理工作站等部分組成。等離子發(fā)生器產(chǎn)生高壓高頻能量在噴頭鋼管中被激活和被控制的輝關(guān)光放電中產(chǎn)生了低溫等離子體,借助壓縮空氣將等離子體噴向工件表面,當?shù)入x子體與被處理物體表面相遇時,產(chǎn)生了化學作用和物理變化,表面得到了清潔,去除了碳化氫類污物,如油?脂、輔助添加劑等,根據(jù)材料成分,其表面分子鏈結(jié)構(gòu)得到了改變
工業(yè)生產(chǎn)中的清洗概念很廣,包括任何與去除污染物有關(guān)的工藝,在不破壞材料表面特性的前提下,有效地清除殘留在材料上的微塵,有機雜物及金屬離子?,F(xiàn)等離子清洗機通過對樣品表面進行改性(親水性),同時除掉表面有機物,使多種材料之間能夠進行貼合、涂覆、鍍膜等工藝操作。從研究開發(fā)到工藝生產(chǎn)使用,從表面微細加工到表面處理改質(zhì)效果都非常好,應用廣泛。如今應用研究于物理化學清洗的方法,大致分為兩類:干法清洗和濕法清洗
等離子清洗機設(shè)備在集成電路和MEMS行業(yè)的應用
????在集成電路或MEMS微納米加工前道工序中,晶圓表面會涂上光刻膠,然后光刻,顯影,但光刻膠只是圖形轉(zhuǎn)化的媒介,當光刻后在光刻膠上形成微納米圖形后,需要進行下一步的生長或刻蝕的工藝,之后需要用某種方法把光刻膠去除。等離子體去膠機可實現(xiàn)此功能。它用射頻或微波方式產(chǎn)生等離子體,同時通入氧氣或其他氣體,等離子體與光刻膠進行反應,形成氣體被真空泵抽走 等離子清
?? 等離子清洗機的預處理是采用等離子表面處理機在AF、AS、AG、AR鍍膜(噴涂)工藝前,對基材表面進行精細化清洗、蝕刻和活化,可以得到非常薄的高張力涂層表面,有利于噴涂藥水的附著牢固和厚薄均勻。? ? 1.清洗:等離子清潔機能清除表面的有機物、樹脂、灰塵、油污、雜質(zhì)等,增加表面能。? ? 2.蝕刻:等離子清洗機能將材料表面改性粗化,蝕
公司名: 煙臺金鷹科技有限公司
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電 話: 0535 -8236617
手 機: 13573547231
微 信: 13573547231
地 址: 山東煙臺招遠市山東招遠高新開發(fā)區(qū)招金路518號
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網(wǎng) 址: ytjykj.cn.b2b168.com
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