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plasma等離子處理TEOS工藝沉積二氧化硅薄膜的光譜研究
二氧化硅薄膜是一種性能優(yōu)良的介質材料,它具有介電性能穩(wěn)定,介質損耗小,耐潮性好,溫度系數好等優(yōu)點,具有較其穩(wěn)定的化學性和電絕緣性。因此,二氧化硅在集成電路工藝中的應用很廣泛。? ? ? ? 正是由于二氧化硅薄膜在集成電路工藝中應用的廣泛性,所以需要制備具有不同特性的二氧化硅薄膜,這就意味著要不斷研發(fā)出各種新型的薄膜沉積技術。近年來,常壓plasma等離子處理
冶金涂層方法用于各種工程產品中,以提高它們的抗蝕性,耐磨性,疲勞強度和表面硬度。涂覆的方法有二種,一種是在工件表面上附著一層物質;另一種是從工件表面向里形成一層不同物質的擴散層,該層具有可以測定的濃度梯度,而且和工件的近表面成為一體。這兩種涂層也可以同時存在。例如,目前對高載工件一般是先形成硬的氮化物擴散層,用它來可靠地支持較硬的TiN附著層。許多這樣的冶金涂層正在用物相沉積(PVD)和化學氣相沉
SiC該材料是三代半導體材質,具有高臨界擊穿電場、高導熱性、高載流子飽和漂移速度等特點。它是**半導體功率器件的*方向,在高壓、高溫、高頻、抗輻射半導體器件低損耗的優(yōu)良性能,是**半導體功率器件的*。? ? ? ??但經傳統(tǒng)濕法處理后的SiC表面存在著殘留有C雜質和表面容易被氧化等缺點,使得在SiC上不容易形成優(yōu)良的歐姆接觸和低界面態(tài)的MOS結
生物領域等離子處理機的應用原理分析,即物質的*四態(tài),是由部分喪失電子的原子和電離產生的自由電子組成的離子氣體物質。這種電離氣體由原子、分子、原子團、離子和電子組成。其作用可以實現物體表面的清潔、活化、蝕刻、精整和等離子處理機表面涂層。由于低溫等離體對物體表面的處理強度小于高溫等離子體,可以保護物體表面。我們在應用中使用的大多是低溫等離子體。而且各種粒子在物體處理過程中所表現出的作用也各不相同。&n
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