GDM300是具有雙拋光工位的全自動(dòng)晶圓研磨機(jī)

時(shí)間：2021-08-11作者：上海衡鵬實(shí)業(yè)有限公司瀏覽：149

上海衡鵬實(shí)業(yè)有限公司專注于錫膏,錫膏粘度計(jì),波峰焊等

• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 5軸機(jī)械手臂能夠在真空環(huán)境下對(duì)應(yīng)不同類型設(shè)備的多種布局

  5軸機(jī)械手臂能夠在真空環(huán)境下對(duì)應(yīng)不同類型設(shè)備的多種布局 5軸真空水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂特點(diǎn)： 5軸真空水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂GTVCR5000系列 實(shí)現(xiàn)了下降價(jià)格，但是也可以維持以前的GTVHR5000系統(tǒng)的機(jī)能，功能 能夠在真空環(huán)境下對(duì)應(yīng)并排擺放的腔室工作臺(tái)布局，能夠靈活地適應(yīng)不同類型設(shè)備的多種布局 通過(guò)優(yōu)化機(jī)械手臂的空間尺寸，有利于減小真空腔室的內(nèi)部容積 非常適合inline設(shè)備 機(jī)械手臂

• 3軸機(jī)械臂_全軸采用AC伺服電機(jī)滿足高速搬送

  3軸機(jī)械臂_全軸采用AC伺服電機(jī)滿足高速搬送 采用AC伺服電機(jī)的3軸機(jī)械臂特點(diǎn)： 超潔凈無(wú)塵間用300mm晶圓對(duì)應(yīng)MCR3000C系列 適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn) 全軸采用AC伺服電機(jī)滿足高速搬送的需求 比MHR系列具有更好的性價(jià)比優(yōu)勢(shì) 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng):160mm, 200mm 適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式 配備動(dòng)作監(jiān)視器 控制通訊方式：RS232C及并

• 晶圓減薄設(shè)備GNX200BP_代理商衡鵬

  晶圓減薄設(shè)備GNX200BP_代理商衡鵬 代理商衡鵬GNX200BP是一款持續(xù)向下進(jìn)給式減薄設(shè)備，采用機(jī)械臂傳送硅片，減薄完成后，有兩個(gè)獨(dú)立的清洗腔，清洗效果更佳。工作盤轉(zhuǎn)速、主軸轉(zhuǎn)速、主軸下壓速度都可調(diào)，有助于平衡產(chǎn)量、減薄品質(zhì)、磨輪壽命。采用兩點(diǎn)式實(shí)時(shí)測(cè)厚儀測(cè)量主軸1和主軸2下的硅片厚度，采用3點(diǎn)測(cè)控主軸角度調(diào)整機(jī)構(gòu)來(lái)控制加工的平整度(TTV)。減薄工序完成后，硅片即會(huì)被自動(dòng)傳送的拋光腔，經(jīng)過(guò)

• 【半導(dǎo)體】手動(dòng)晶圓切割貼膜機(jī)STK-710 上海衡鵬

  【半導(dǎo)體】手動(dòng)晶圓切割貼膜機(jī)STK-710 上海衡鵬 ——貼膜機(jī)是桌上型/適用于 4”& 5”& 6”& 8”晶圓/操作簡(jiǎn)便。 手動(dòng)晶圓切割貼膜機(jī)STK-710規(guī)格參數(shù)： 晶圓尺寸：4”,5”,6”&8”晶圓； 厚度：150 ~750 微米； 晶圓種類：硅、砷化鎵或其它材料； 單邊,雙邊，V 型缺口 膜種類：藍(lán)膜或者 UV 膜； 寬度：210~300 毫米； 長(zhǎng)度：100 米； 厚度：0.05~0