等離子清洗機(jī)，晶圓級(jí)封裝處理

時(shí)間：2022-03-29作者：煙臺(tái)金鷹科技有限公司瀏覽：360

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• 詞條

  詞條說明

• 大氣常壓與真空等離子體清洗機(jī)設(shè)備區(qū)別

  大氣常壓等離子清洗機(jī)又稱常壓射流等離子處理機(jī)，即在普通大氣的環(huán)境下進(jìn)行等離子清洗。大氣等離子清洗機(jī)由等離子發(fā)生器、氣體輸送管及等離子處理工作站等部分組成。等離子發(fā)生器產(chǎn)生高壓高頻能量在噴頭鋼管中被激活和被控制的輝光放電中產(chǎn)生了低溫等離子體，借助壓縮空氣將等離子體噴向工件表面，當(dāng)?shù)入x子體與被處理物體表面相遇時(shí)，產(chǎn)生了化學(xué)作用和物理變化，表面得到了清潔，去除了碳化氫類污物，如油脂、輔助添加劑等，根據(jù)材

• 等離子清洗機(jī)，光刻膠剝離

  等離子清洗機(jī)用于清洗晶元（Wafer），去除表面光刻膠。具有高度的均勻性，穩(wěn)定的刻蝕速率。等離子體清洗機(jī)在處理晶圓表面光刻膠時(shí)，等離子表面清洗能夠去除表面光刻膠和其余有機(jī)物，也可以通過等離子活化和粗化作用，對(duì)晶圓表面進(jìn)行處理，能有效提高其表面浸潤性。相比于傳統(tǒng)的濕式化學(xué)方法，等離子體清洗機(jī)干式處理的可控性強(qiáng)，一致性好，并且對(duì)基體沒有損害。等離子清洗機(jī)有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner

• 等離子清洗機(jī)知識(shí)介紹

  等離子清洗機(jī)能夠清除金屬、陶瓷、塑料、玻璃表面的有機(jī)污染物，可以明顯改變這些表面的粘接性及焊接強(qiáng)度。離子化過程能夠容易地控制和安全地重復(fù)實(shí)現(xiàn)。可以說，有效的表面處理對(duì)于產(chǎn)品的可靠性或過程效率的提高是至關(guān)重要的，等離子技術(shù)也是目前最理想的技術(shù)。通過表面活化，等離子技術(shù)可以改善絕大多數(shù)物質(zhì)的性能：潔凈度、親水性、斥水性、粘結(jié)性、標(biāo)刻性、潤滑性、耐磨性。在材料生產(chǎn)過程中，等離子表面改性技術(shù)已經(jīng)逐漸成為

• 等離子清洗機(jī)改善材料之間的吸附性

  等離子清洗機(jī)改善材料之間的吸附性，等離子清洗機(jī)處理可以改善材料表面黏附性能等離子清洗機(jī)改性后的PET材料表面對(duì)白蛋白具有先吸附的性質(zhì)，且接枝了PEG6000的PET材料表面對(duì)白蛋白的先吸附性強(qiáng)。吸附了白蛋白的生物材料表面可以顯著抑制血小板的聚集和黏附，表現(xiàn)出良好的血液相容性。聚合物纖維作為良好的吸附性材料，具有比表面積大、孔隙率高等特點(diǎn)。在聚合物纖維表面利用低溫等離子體清洗機(jī)接枝特定分子后，能夠提