真空泵的選型

時(shí)間：2021-11-07作者：上海福豫機(jī)械設(shè)備有限公司瀏覽：151

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• 詞條

  詞條說(shuō)明

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  羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)

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  真空泵散熱油管堵塞疏通及日常維護(hù)方法：1、找一個(gè)干凈的托盤，內(nèi)倒入足夠量的干凈水，添加入洗滌劑（不可使用腐蝕性洗滌劑）。2、將真空泵散熱油管從真空泵中拆卸下來(lái)，用風(fēng)槍對(duì)準(zhǔn)一頭的管孔，不管能不能吹出臟物，此步可間斷性操作。3、頭幾次會(huì)吹出多的臟物，等吹到?jīng)]有多少東西出來(lái)時(shí)，將散熱油管置于溶解洗滌劑的托盤內(nèi)浸泡4-6h。4、在浸泡的過(guò)程中，可適當(dāng)?shù)陌凑斩氯闆r多次拿出用風(fēng)槍對(duì)準(zhǔn)管口吹。5、浸泡完后再次