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詞條說明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
單級旋片式真空泵-適用范圍1、XD型單級旋片式真空泵適用于密閉系統(tǒng)的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。2、入口壓力范圍:100Pa~100000Pa,**出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產(chǎn)生。XD型旋片式真空泵工作環(huán)境溫度和吸入氣體溫度應(yīng)在5℃~40℃之間。3、XD型旋片式真空泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過高的、腐蝕性的氣體。4、一般供應(yīng)的電動機不防爆,如要求防爆或其
維護與保養(yǎng)1、潤滑油的規(guī)范及換油步驟潤滑油主要有三個作用:潤滑、密封、冷卻。潤滑作用:潤滑油可以在泵蓋、轉(zhuǎn)子、葉片、泵體之間形成油膜,避免了相互間的直接接觸,減少摩擦。密封作用:潤滑油產(chǎn)生的油膜能對真空泵起到密封作用,提高了真空泵的效率。冷卻作用:潤滑油吸收了大量的圧縮熱,使壓縮過程接近于等溫壓縮,降低了真空泵的功率。另外:潤滑油還能降低高頻壓縮所產(chǎn)生的噪音。?2、日常保養(yǎng)每日或每次運轉(zhuǎn)
XD型真空泵清洗、換油的步驟及應(yīng)注意事項?1、停止運轉(zhuǎn)XD型旋片式真空泵將熱油放掉。2、旋上放油塞運轉(zhuǎn)5-10秒。3、將油放盡。4、注入清洗用油(32號普通機械油)到油窗高度的3/4處。5、運轉(zhuǎn)XD型旋片式真空泵5-10分鐘。6、停XD型旋片式真空泵,將油放掉。如油尚不能達到要求,重復(fù)4、5步驟。7、旋上放油塞運轉(zhuǎn)5-10鈔。8、將油放盡。9、注入規(guī)定的新真空泵油。10、XD型旋片式真空
公司名: 上海福豫機械設(shè)備有限公司
聯(lián)系人: 黃先生
電 話: 17502155678
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微 信: 17502155678
地 址: 上海金山廊下鎮(zhèn)金廊公路41號10幢224室
郵 編:
網(wǎng) 址: shm159861.b2b168.com
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