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XD系列真空泵安裝方法:?(1)安裝?泵應(yīng)水平安放。由于泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)幾乎沒有振動(dòng)一般可不固定,泵底部減震墊塊上有公制螺孔用以固定泵。不要在地面上推拉泵,以免損壞減震墊塊。?為保證泵得到良好的冷卻和便于維修,建議在泵進(jìn)氣口和排氣口前留有0.4m的空隙。為方便放油可安裝帶放油盤的底座。?發(fā)運(yùn)的泵不帶油。安裝后,通過加油口緩慢注入所規(guī)定的真空泵油(見保養(yǎng)、維修1)到油
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
普旭真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)中的注意點(diǎn)
普旭真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)中的注意點(diǎn):?????(1)運(yùn)轉(zhuǎn)中必須按照羅茨真空泵的技術(shù)規(guī)格使用,在正常情況下,羅茨真空泵的入口壓力在1330Pa以下,泵的大壓差不得**其大允許壓差值。?????(2)注意電動(dòng)機(jī)負(fù)荷和泵的各部位溫升,在正常運(yùn)轉(zhuǎn)情況下,泵的高溫升不得**過40℃,高溫度不得**過80℃。如果選用水環(huán)泵作
滑閥泵排氣過濾器的安裝過程如下:1.?先在總成上面安裝過濾器壓力表,壓力表可以實(shí)時(shí)監(jiān)控真空泵的壓力,同時(shí)也可以通過數(shù)據(jù)知道什么時(shí)候應(yīng)該換濾芯了。2.?壓力表安裝完成后就到了貼標(biāo)簽的環(huán)節(jié),也是一個(gè)小小的說明書以及溫馨提醒哦,用戶在使用**定要認(rèn)真閱讀。3.?第三步就是安裝初效濾芯啦,初效濾芯捕捉油霧大顆粒,將小顆粒留給高效濾芯,延長高效的壽命。4.?初濾芯安裝
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