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詞條說明
按性能特點和用途分類(1)低真空泵泵的壓力102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。(2)中真空泵壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉(zhuǎn)機械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機械真空泵等。(3)高真空泵壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見的高真空泵有各種擴散泵
移動負壓站真空負壓站(又名真空發(fā)生裝置、?真空泵站等)是以旋片真空泵作為真空獲得設(shè)備,以真空罐作為真空存儲設(shè)備的全自動真空度控制成套系統(tǒng)。對于頻繁使用真空源而所需抽氣量不太大的場合下,該系統(tǒng)比直接使用真空泵大大節(jié)約了能源,并有效提高了真空泵的使用壽命。目前這種泵已普遍應(yīng)用于各類食品的真空包裝.橡膠和塑料工業(yè)的真空吸塑成型,印刷工業(yè)的紙張輸送,各類鑄件的真空浸漬防漏、真空夾具、真空干燥、真
便宜的用旋片式真空泵串接擴散泵即可.泵的抽速選擇,由真空室大小以及真空確定.一般是兩臺旋片式真空泵+一臺擴散泵組成.一臺旋片式真空泵直抽真空室,另一臺抽擴散泵.當真空室到5Pa以下,并且擴散泵預(yù)熱后,切換到擴散泵抽真空室.因為擴散泵有冷阱,所以泵油不會污染真空室.假如有錢,就用分子泵代替擴散泵.不用預(yù)熱.并且徹底無油.
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
公司名: 上海福豫機械設(shè)備有限公司
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