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【上海單級旋片式真空泵廠家】真空泵系統(tǒng)的基本要求
真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時(shí)所達(dá)到的真空度,工作真空度是指在器件進(jìn)行真空處理時(shí)所能維持的真空度。真空處理時(shí)往往要放出大量氣體,這時(shí)的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側(cè)面對器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
真空泵發(fā)生漏油的原因是什么?1、軸承位變形,可修復(fù)軸承位置。2、軸承磨損嚴(yán)重,可拆開檢查是否因軸承磨損而產(chǎn)生漏油,如是磨損所致可更換軸承。3、密封套件硬化致使密封性能降低或者嚴(yán)重失效,可更換掉整套密封套件解決失效問題。4、檢查泵油和管路,查看漏油的部位,密封螺絲,管路,管路接口,油箱體...5.、泵體連接部位螺絲松開而漏油,擰緊螺絲解決問題。6、真空泵長時(shí)間沒有進(jìn)行保養(yǎng),可拆解開真空泵,清洗油箱、
單級旋片真空泵浮子閥怎樣換1、回油浮球安裝在油箱內(nèi),泵頭處的回油管將連接與之相通的孔,將泵頭內(nèi)多余的油收集到油箱內(nèi)部。2、當(dāng)回油浮球失去效果,則在油位較高時(shí)無法堵住油口,后果將會導(dǎo)致整個(gè)回油油路無法正常工作。從而間接導(dǎo)致真空泵泵體潤滑不夠,或泵體油分過多。3、為了保持油路的暢通和正常工作,以及獲得穩(wěn)定的真空度、延長真空泵使用壽命的前提下,當(dāng)大保養(yǎng)或維修時(shí)若回油浮球失去效果,請立即換!浮子適用于普旭
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