意大利GIVI光柵尺/磁柵尺應(yīng)用——可再生能源

時(shí)間：2022-09-22作者：上海銳放自控技術(shù)有限公司瀏覽：395

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• 詞條

  詞條說明

• 掃描電子/聚焦離子束顯微鏡（SEM/FIB）-由Nanomotion設(shè)計(jì)和制造的X/Y/Theta/Z平臺。

  掃描電子/聚焦離子束顯微鏡（SEM/FIB）-由Nanomotion設(shè)計(jì)和制造的X/Y/Theta/Z平臺。在清潔、真空環(huán)境中工作，具有納米級的定位穩(wěn)定性。

• 運(yùn)動(dòng)控制器的功能

  運(yùn)動(dòng)規(guī)劃功能實(shí)際上是形成運(yùn)動(dòng)的速度和位置的基準(zhǔn)量。合適的基準(zhǔn)量不但可以改善軌跡的精度，而且其影響作用還可以降低對轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)以及機(jī)械傳遞元件的要求。通用運(yùn)動(dòng)控制器通常都提供基于對沖擊、加速度和速度等這些可影響動(dòng)態(tài)軌跡精度的量值加以限制的運(yùn)動(dòng)規(guī)劃方法，用戶可以直接調(diào)用相應(yīng)的函數(shù)。對于加速度進(jìn)行限制的運(yùn)動(dòng)規(guī)劃產(chǎn)生梯形速度曲線；對于沖擊進(jìn)行限制的運(yùn)動(dòng)規(guī)劃產(chǎn)生S形速度曲線。一般來說，對于數(shù)控機(jī)床而言，采用加速

• 運(yùn)動(dòng)控制器的優(yōu)點(diǎn)

  運(yùn)動(dòng)控制器的優(yōu)點(diǎn)：（1）硬件組成簡單，把運(yùn)動(dòng)控制器插入PC總線，連接信號線就可組成系統(tǒng)；（2）可以使用PC機(jī)已經(jīng)具有的豐富軟件進(jìn)行開發(fā)；（3）運(yùn)動(dòng)控制軟件的代碼通用性和可移植性較好；（4）可以進(jìn)行開發(fā)工作的工程人員較多，不需要太多培訓(xùn)工作，就可以進(jìn)行開發(fā)。

• 用于半導(dǎo)體加工的**精密XY真空平臺。

  nanomotion用于半導(dǎo)體加工的超精密XY真空平臺。行程超過500mm，編碼器分辨率為0.1nm，定位精度為±2nm。10小時(shí)以上定位穩(wěn)定性達(dá)到1nm。