等離子清洗機(jī)，光學(xué)行業(yè)的表面活化

時(shí)間：2022-04-09作者：煙臺(tái)金鷹科技有限公司瀏覽：280

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• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 等離子清洗機(jī)去除晶圓Wafer光刻膠

  等離子清洗機(jī)能去除晶圓表面肉眼看不到的表面污染物，使得晶圓表面變得清潔并具親水性芯片制作完成后殘余的光刻膠無(wú)法用濕式法清洗，只能通過(guò)等離子清洗機(jī)進(jìn)行去除，晶圓級(jí)封裝前等離子清洗機(jī)處理的目的是去除表面的無(wú)機(jī)物，還原氧化層，增加銅表面的粗糙度，提高產(chǎn)品的可靠性。等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)

• 等離子清洗機(jī)，光刻膠剝離

  等離子清洗機(jī)用于清洗晶元（Wafer），去除表面光刻膠。具有高度的均勻性，穩(wěn)定的刻蝕速率。等離子體清洗機(jī)在處理晶圓表面光刻膠時(shí)，等離子表面清洗能夠去除表面光刻膠和其余有機(jī)物，也可以通過(guò)等離子活化和粗化作用，對(duì)晶圓表面進(jìn)行處理，能有效提高其表面浸潤(rùn)性。相比于傳統(tǒng)的濕式化學(xué)方法，等離子體清洗機(jī)干式處理的可控性強(qiáng)，一致性好，并且對(duì)基體沒(méi)有損害。等離子清洗機(jī)有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner

• 等離子清洗機(jī)在FPC/PCB行業(yè)的應(yīng)用

  等離子清洗機(jī)：是一種用于表面處理的低溫等離子表面改性設(shè)備。廣泛應(yīng)用于等離子清洗、刻蝕、鍍、涂覆、灰化和表面改性等場(chǎng)合。通過(guò)其處理，能夠改善材料的潤(rùn)濕程度，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、鍍等操作。等離子清洗是一種輕微的刻蝕，等離子體的表面清洗能很快去除金屬表面的油脂、油污等有機(jī)物和氧化層，在進(jìn)行濺射、油漆、粘合、鍵合、焊接、銅焊、PVD、VCD和涂覆前，用等離子處理能得到完全的潔凈和無(wú)氧化層的表面。 離

• 等離子清洗機(jī)，激活鍵能交聯(lián)作用

  等離子清洗機(jī)的激活鍵能，交聯(lián)作用：等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激活了表面活性。等離子清洗機(jī)實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面進(jìn)行激活、蝕刻、除污等工藝處理，以及對(duì)材料的摩擦因數(shù)、粘合和親水等各種表面性能進(jìn)行改良的作用。等離子清洗機(jī)Plasma Clean