潔凈車間設(shè)計(jì)方案,無(wú)塵車間設(shè)計(jì)方案

時(shí)間：2020-10-13作者：昆山清陽(yáng)凈化系統(tǒng)工程有限公司瀏覽：264

昆山清陽(yáng)凈化系統(tǒng)工程有限公司專注于無(wú)塵室,潔凈室,無(wú)菌室等

• 詞條

  詞條說(shuō)明

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  為什么半導(dǎo)體凈化車間裝修工程需要廢氣處理 為什么半導(dǎo)體車間都會(huì)安裝廢氣處理設(shè)備，因?yàn)榘雽?dǎo)體制造中使用的氣體大多具有可燃性、自燃性、腐蝕性、毒性等特性，還有一些具有高的GWP（全球變暖潛勢(shì)），尤其是在在晶圓廠制造車間中的廢氣流通常含有腐蝕性和VOCS有機(jī)廢氣等，必須在釋放到大氣之前通過(guò)VOCs有機(jī)廢氣處理設(shè)備去除這些氣體。這需要在大多數(shù)半導(dǎo)體廠制造車間中使用專門用于管理和處理工藝廢氣流的設(shè)備。因此我

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  無(wú)塵車間裝修設(shè)計(jì)中排風(fēng)管道的制作， 應(yīng)符合下列規(guī)定： 1） 可燃、 有毒的排風(fēng)風(fēng)管的密封墊料、 固定材料應(yīng)采用不燃材料； 2 ） 風(fēng)管所用螺栓, 螺母, 墊圈和鉚釘均應(yīng)采用與管材性能相適應(yīng), 并不產(chǎn)生電化學(xué)腐蝕的材料, 或采用鍍鋅等防腐措施； 3 ） 鍍鋅鋼板不得有鍍鋅層嚴(yán)重?fù)p壞的現(xiàn)象， 如表層大面積白花、 鍍層粉化等； 4） 風(fēng)管法蘭的螺栓及鉚釘孔的間距， 不應(yīng)大于 100 ㎜； 矩形風(fēng)管法蘭的